成功案例 ｜格創(chuàng )東智OHT天車(chē)解決方案，打造頂尖國產(chǎn)自研半導體晶圓搬運系統

我國某重要的高端核心電子器件供應基地、半導體新器件新技術(shù)創(chuàng )新基地，為提升晶圓搬運效率，支撐半導體生產(chǎn)線(xiàn)的穩定、高效運行，決定建設半導體領(lǐng)域最先進(jìn)的，具有自主知識產(chǎn)權、高效穩定、智能化程度高的國產(chǎn)自研晶圓搬運系統。

基于該基地的建設規劃及現狀，格創(chuàng )東智從生產(chǎn)效率提升、數據安全、緊密空間設計三個(gè)方面進(jìn)行了詳細的方案設計，為其提供空中物料傳輸、人機協(xié)同、數據傳輸等整體解決方案 ：

生產(chǎn)效率提升

通過(guò)天車(chē)部署安裝，覆蓋對接多機臺復雜工藝流程間的物料搬送，通過(guò)MCS進(jìn)行全流程的物料自動(dòng)搬送，彌補了傳統人工搬運在效率、失誤率、潔凈度等方面漏洞。

數據安全

針對客戶(hù)場(chǎng)景提供定制化網(wǎng)絡(luò )安全方案，保障客戶(hù)對天車(chē)運行數據、數據傳輸的穩定性、可行性、安全性。

緊密空間設計

系統方案包含自研OHT、OHTC、MCS、異形軌道等，整個(gè)AMHS系統包含搬運、通訊、存儲等眾多硬件裝備及其軟件，覆蓋整個(gè)半導體前道工序，充分考慮客戶(hù)在緊密空間下的物料搬運需求整體解決方案。

通過(guò)構建完整的晶圓搬運系統，格創(chuàng )東智幫助客戶(hù)在空間和設備利用、運送安全與效率、生產(chǎn)調度靈活性等方面取得了顯著(zhù)成效：

1、為客戶(hù)提供天花板架設軌道、采用多層設計OHB結構，充分考慮客戶(hù)工廠(chǎng)不同工序間傳送路徑間的配合，優(yōu)化天車(chē)傳送路徑，提高客戶(hù)整體空間使用率和設備使用效率。

2、極大地降低晶圓搬運過(guò)程搬運震動(dòng)引發(fā)晶圓破損風(fēng)險，搬運精度控制在±1mm以?xún)?，搬運過(guò)程載具振動(dòng)值＜0.5G，關(guān)鍵取放過(guò)程實(shí)施多重防護，為生產(chǎn)物料及時(shí)穩定安全運輸保駕護航。

3、有效整合MES、EAP、OHTC、OHT等軟件傳輸層的數據，充分考慮生產(chǎn)工藝過(guò)程物料運輸的最優(yōu)路徑，有效避免擁堵，同時(shí)與FAB其他設備、軟件緊密協(xié)同，通過(guò)數字孿生技術(shù)實(shí)現對整廠(chǎng)搬運有效追蹤，為管理者提供了可靠、實(shí)時(shí)數據信息，同時(shí)增強了生產(chǎn)調度的靈活性和響應速度。